有机导电膜应用于宽能隙半导体欧姆接触结构与制造方法

摘要

一种有机导电膜应用于宽能隙半导体欧姆接触结构与制造方法,其结构系在P型或N型宽能隙半导体上沉积或自旋涂布一特定之有机高分子导电层后,再将电极材料(金属或透明导电膜)沈积覆盖于该有机高分子导电层上,使得载子可以直接经由电极层及有机高分子导电层,而有效注入于宽能隙半导体中,以供降低电极/宽能隙半导体界面接触电阻。再者,其可以降低元件操作电压,以及减少电极/宽能隙半导体界面之焦耳热所造成元件之损耗,进而提升其元件性能。