红外光感测膜层制造方法

摘要

一种具热致变特性之红外线感测膜层制造方法,该红外线感测膜层系经图案化后系应用作为红外线感测元件,其主组成为V1-x-yWxSiyO2,系透过掺杂特定莫耳比例之钨离子(W6+)及预定莫耳比例之矽离子(Si4+)于一V0(OR)n溶液中以溶胶凝胶法制备并在还原气氛(reducing atmosphere)炉中持温锻烧制成,其中01。