薄膜电晶体及其制造方法

摘要

一种薄膜电晶体,其包括一基板、一第一缓冲层、闸极、闸绝缘层、通道层、源极及汲极。第一缓冲层配置基板上,且第一缓冲层为一矽化物。闸极覆盖第一缓冲层的一部分。此闸极包括第一铝金属层及第一保护层,其中第一保护层配置于第一铝金属层上。闸绝缘层覆盖闸极,且通道层配置于闸极上方的部分闸绝缘层上。源极及汲极配置于通道层上并互相分隔,且源极及汲极包括第二缓冲层、第二铝金属层及第二保护层。第二铝金属层配置于第二缓冲层上,且第二保护层配置于第二铝金属层上。因此,此薄膜电晶体具有较佳的可靠度。