基板挂篮装置

摘要

一种基板挂篮装置,包含有一用以容纳复数个基板之框架、复数个设置于该框架之相对之两侧面之侧支撑杆、复数个设置于该框架之一底部,用以承载该等基板之底支撑杆、以及一分离式上盖。而该分离式上盖包含有至少一定位支撑杆,且该定位支撑杆各包含复数个定位部,以固定该基板。