基板检查装置

摘要

一种基板检查装置,其藉由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置1包括:主室2,其在真空状态下进行基板的检查;负载固定室3,其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出;探测器框储料器4,其用于储存与基板进行电性接触并施加检查信号的探测器框20;而且,探测器框储料器4配置在负载固定室3或主室2的上部。藉由采用将探测器框储料器4配置在负载固定室3上或主室2上的构成,而使探测器框储料器4所需的占据面积,可直接利用负载固定室3或主室2的占据面积,能够防止占据面积的增大。