| 摘要 |
Procedimiento para la generación de marcas temporales de puntos arbitrarios en componentes (13) que se mueven, en el que la luz de una fuente de luz (1) de banda ancha con una longitud de coherencia correspondientemente corta se divide en dos haces, en concreto un haz de luz de medición (3) y un haz de luz de referencia (4), y se acopla en dos conductores de luz (5, 6), la luz del haz de luz de referencia (4) se acopla de modo retroactivo, al menos parcialmente, y la luz del haz de luz de medición (3) se enfoca en un punto de medición (11), y la luz acoplada de modo retroactivo formada por el haz de luz de referencia (4) y el haz de luz de medición (3) se lleva a interferencia y es detectada por un detector (14), se pueden ajustar con la misma longitud los caminos ópticos en el haz de luz de medición (3) hasta el foco (11) y en el haz de luz de referencia (4) hasta el plano de acoplamiento retroactivo (12, 18) dentro de la longitud de coherencia de la luz irradiada, y la luz en el haz de luz de medición (3) es reflejada por el componente que se ha de medir, y en el que a partir de la modulación de la luz interferente originada al pasar el componente a través del foco se determinan las marcas temporales.
|
