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Un procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas para inspeccionar una estructura óptica superpuesta que tiene una capa de reflexión y por lo menos una película delgada de transmisión de luz superpuestas de manera secuencial sobre un sustrato, teniendo el sustrato surcos formados sobre el mismo de manera que los surcos afectan a la reflectividad de la capa de reflexión, comprendiendo dicho procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas las etapas de: (a) irradiar luz de inspección sobre la estructura óptica superpuesta desde un lado provisto de la película delgada de transmisión de luz; (b) medir una intensidad luminosa de la luz reflejada desde cada capa, caracterizado por la etapa de seleccionar una longitud de onda a la que la intensidad de la luz reflejada depende de un cambio en una longitud de camino óptico de cada capa, y (c) medir un espesor de la película delgada de transmisión de luz basado en la intensidad luminosa de la luz reflejada a la longitud de onda específica seleccionada.
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