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发明名称 MEMS DEVICE LEVER
摘要 A MEMS device and method include a mechanical plate that is raised or lowered by pivoting a lever coupled to the mechanical plate by a flexible beam.
申请公布号 US2008101748(A1) 申请公布日期 2008.05.01
申请号 US20060553459 申请日期 2006.10.26
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY LP 发明人 JILANI ADEL B.;FAASE KENNETH JAMES;YEH BAO SUNG B.;PIEHL ARTHUR R.;MONROE MICHAEL G.;PRZYBYLA JAMES R.
分类号 G02B6/42;G02B6/26 主分类号 G02B6/42
代理机构 代理人
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