一种调焦调平测量系统

摘要

一种调焦调平测量系统，包括光源模块(1)、照明光学模块(2)、物光栅(3)、第一成像模块(4)、第一偏置平板(5)、被测对象(6)、第二偏置平板(7)和第二成像模块(8)，还包括DRC模块和探测模块(12)，其中DRC模块还包括分束器(9)和倒像器(10)。相对于现有的调焦调平测量系统而言，本发明具有更高的稳定性、重复性和测量精度，而且能够平均掉被测对象(6)上由于局部反射率不均引起的测量误差，以及光源光强变化和被测对象反射率整体变化等引起的测量误差，同时本发明还具有结构简单，对被测对象的敏感性较差的优势。

主权项

1.一种调焦调平测量系统，包括光源模块(1)、照明光学模块(2)、物光栅(3)、第一成像模块(4)、第一偏置平板(5)、被测对象(6)、第二偏置平板(7)和第二成像模块(8)，其特征在于，还包括DRC模块和探测模块(12)，其中DRC模块还包括分束器(9)和倒像器(10)；所述的分束器(9)，用于将进入DRC模块的光束分为两束，一束直接成像在探测模块(12)处，另一束进入倒像器(10)；所述的倒像器(10)，用于将进入它的光束倒像后，成像在探测模块(12)处；所述的探测模块(12)，用于探测被测对象(6)的位置信息。