发明名称 蒸发液体形成薄膜的蒸发器及方法
摘要 一种蒸发器(10),包括液体的入口(12)以及气体的出口(14),控制气体流到蒸发器(10)出口(14)的气体阀(16),以及将在液体入口(12)与气体阀(16)之间流动的液体加热的装置。所述蒸发器(10)还包括将液体入口与气体阀之间流动的液体的热传递速率增加并使液体产生压力降的装置(18),从而液体在到达气体阀后压力下降到液体的蒸气相变压力以下。在等温的状态下出现压降,并且仅在阀(16)打开时根据需要蒸发液体。增加热传递速率和产生压力降的装置(18)可以是多孔介质塞。
申请公布号 CN101171368A 申请公布日期 2008.04.30
申请号 CN200680015728.5 申请日期 2006.03.03
申请人 MKS仪器公司 发明人 P·梅内吉尼;A·沙吉;D·史密斯;W·克拉克
分类号 C23C16/448(2006.01);C23C16/455(2006.01);B01B1/00(2006.01) 主分类号 C23C16/448(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 蔡胜利
主权项 1.一种蒸发器,包括:液体入口;气体出口;控制气体流到气体出口的气体阀; 将在液体入口与气体阀之间流动的液体加热的加热装置;以及使液体入口与气体阀之间流动的液体产生压力降并将液体入口与气体阀之间流动的液体的热传递速率增大的装置,从而在到达气体阀时,液体的压力下降到液体的蒸气相变压力以下。
地址 美国马萨诸塞