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发明名称 Chemisch-mechanisches Poliermittel-Kit und chemisch-mechanisches Polierverfahren unter Verwendung desselben
摘要
申请公布号 DE602004007718(T2) 申请公布日期 2008.04.30
申请号 DE200460007718T 申请日期 2004.05.11
申请人 JSR CORP. 发明人 SHIDA, HIROTAKA;KONNO, TOMOHISA;HATTORI, MASAYUKI;KAWAHASHI, NOBUO
分类号 C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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