| 发明名称 |
Trägerplattenvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Schaltungsanordnung unter Verwendung derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69838826(T2) |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
| 申请号 |
DE19986038826T |
申请日期 |
1998.03.24 |
| 申请人 |
NIKON CORP. |
发明人 |
NISHI, KENJI;KIUCHI, TORU |
| 分类号 |
G03F7/20;B23Q1/00;B23Q1/26;B23Q1/62;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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