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发明名称
Bindungsschicht für Substrate die auf Silizium basiert sind
摘要
申请公布号
DE602004008145(T2)
申请公布日期
2008.04.30
申请号
DE200460008145T
申请日期
2004.05.21
申请人
UNITED TECHNOLOGIES CORP.
发明人
EATON, HARRY E.;SUN, ELLEN Y.;CHIN, STEPHEN
分类号
C04B41/50;C04B37/00;C04B41/87;C23C28/04;C23C30/00;F01D5/28;F02C7/00
主分类号
C04B41/50
代理机构
代理人
主权项
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