发明名称 |
一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 |
摘要 |
本发明属于短波段成像光学领域,具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本发明中设计了如图所表示的检测装置,整个光学系统均处于真空条件下,极紫外光源1发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网7后,打到反射镜3和4,最后经过待测极紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像,金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较,经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本发明的有益效果为:提供了一种结构简单、性能可靠能够对极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。 |
申请公布号 |
CN101169349A |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
申请号 |
CN200610163271.4 |
申请日期 |
2006.12.18 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
巩岩 |
分类号 |
G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01) |
主分类号 |
G01M11/00(2006.01) |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 |
代理人 |
南小平 |
主权项 |
1.一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置,光源(1)产生的平行光通过鉴别率板(2)后经反射镜(3)和(4),最后经过待检成像系统(5)在探测器(6)上成像,根据所成影像中鉴别率板的线对的清晰程度,经过计算既可得到待检成像光学系统的分辨率数据,其特征是:所述鉴别率板(2)是精密刻画的金属栅网(7)。 |
地址 |
130031吉林省长春市东南湖大路16号 |