压电薄膜谐振器和使用该压电薄膜谐振器的滤波器

摘要

本发明涉及压电薄膜谐振器和使用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括：由基板支撑的下部电极，在该下部电极的下方限定有一空间；设置在下部电极和基板上的压电膜；以及上部电极，该上部电极设置在压电膜上以形成谐振部分，在该谐振部分中，上部电极隔着压电膜与下部电极面对。下部电极和上部电极中的至少一个具有互连部分，该互连部分用于从谐振部分提取信号并位于该空间的上方。下部电极和上部电极中的所述至少一个在其中下部电极和上部电极中的所述至少一个与压电膜接触的区域中具有第一质量每单位面积，并且在谐振部分中具有第二质量每单位面积，该第一质量每单位面积小于该第二质量每单位面积。

主权项

1.一种压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器包括：由基板支撑的下部电极，在该下部电极的下方限定有一空间；设置在所述下部电极和所述基板上的压电膜；以及上部电极，该上部电极设置在所述压电膜上以形成谐振部分，在该谐振部分中，所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极面对，所述下部电极和所述上部电极中的至少一个具有互连部分，该互连部分用于从所述谐振部分提取信号并位于所述空间的上方，所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个在其中所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个与所述压电膜接触的区域中具有第一质量每单位面积，并且在所述谐振部分中具有第二质量每单位面积，所述第一质量每单位面积小于所述第二质量每单位面积。