发明名称 Method of anisoptropic wet etching of silicone
摘要
申请公布号 PL197618(B1) 申请公布日期 2008.04.30
申请号 PL20020353673 申请日期 2002.04.29
申请人 POLITECHNIKA WROCLAWSKA 发明人 TETERYCZ HELENA;DZIUBAN JAN;WALCZAK RAFAL
分类号 C30B33/12;C01B33/00 主分类号 C30B33/12
代理机构 代理人
主权项
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