Monolithische MEMS-Vorrichtung mit im Gleichgewicht befindlicher Kragplatte,申请号DE200560001745T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Monolithische MEMS-Vorrichtung mit im Gleichgewicht befindlicher Kragplatte
摘要
申请公布号	DE602005001745(T2)	申请公布日期	2008.04.30
申请号	DE200560001745T	申请日期	2005.09.22
申请人	LUCENT TECHNOLOGIES INC.	发明人	GREYWALL, DENNIS S.;MAROM, DAN MARK
分类号	G02B26/08;B81B3/00	主分类号	G02B26/08
代理机构		代理人
主权项
地址

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