| 发明名称 | 计算机可读的掩模收缩控制处理器 | ||
| 摘要 | 提供了一种包括计算机可读介质的装置。计算机可读介质包括用于接收特征布图的计算机可读代码以及在特征布图上应用收缩修正的计算机可读代码。用于应用收缩修正的计算机可读代码包括提供拐角切口、调整线宽度和长度、形状修改等，以用于在图案化的层中形成特征。 | ||
| 申请公布号 | CN101171545A | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
| 申请号 | CN200680015843.2 | 申请日期 | 2006.05.02 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | S·M·R·萨贾迪;尼古拉斯·布赖特 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01) | 主分类号 | G03F1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;尚志峰 |
| 主权项 | 1.一种包括计算机可读介质的装置，包括：用于接收特征布图的计算机可读代码；以及用于对所述特征布图应用收缩修正的计算机可读代码。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||