发明名称 | 滤波式光学读出微梁温度传感器 | ||
摘要 | 滤波式光学读出微梁温度传感器,其特征是设置双材料微梁单元于感温头内,点光源以其投射光束投射在微梁反光板上;在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元,成像透镜位于直线边界滤波单元之后,设置在成像透镜的成像位置上的光电接受器为光强接收器。本实用新型采用直线边界滤波的光学方法,检测双材料为悬臂梁自由端的热致转角变形,从而精密测量环境温度的变化。 | ||
申请公布号 | CN201053905Y | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
申请号 | CN200720035164.3 | 申请日期 | 2007.03.20 |
申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 张青川;李凯;伍小平 |
分类号 | G01K5/48(2006.01) | 主分类号 | G01K5/48(2006.01) |
代理机构 | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人 | 何梅生 |
主权项 | 1.滤波式光学读出微梁温度传感器,其特征是:设置双材料微梁单元(4)于感温头(5)内,点光源(1)以其投射光束投射在微梁反光板上;在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元(7),成像透镜(8)位于直线边界滤波单元(7)之后,设置在成像透镜(8)的成像位置上的光电接受器(9)为光强接收器。 | ||
地址 | 230026安徽省合肥市金寨路96号 |