| 发明名称 |
DIRECTED PURGE FOR CONTACT FREE DRYING OF WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1915775(A2) |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
| 申请号 |
EP20060788607 |
申请日期 |
2006.07.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
MIMKEN, VICTOR;LU, YONGQIANG |
| 分类号 |
H01L21/302;B08B3/10;B08B5/00;H01L21/461 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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