流体质量流量控制器和流体流量计及测量和控制方法

摘要

本发是涉及流体质量流量控制器和流体流量计及测量和控制方法。一种流体质量流量控制器(20)，包括一与压力传感器(46，48)连接的控制电路(70，72，74，76，80)，这些压力传感器(46，48)用于感测跨限流器(56)的压差，控制电路用于控制一阀(40)，从而将流体质量流速控制到一给定点。该控制电路(70，72，74，76，80)将所测量温度下的压差和下游压力与一定范围内压差和下游压力下流过流量控制器(20)的气体的数据组进行对比，并相应调节控制速度。该流量控制器(20)包括一个两部件本体(22)。限流器(56)可包括一小孔或喷嘴，但最好包括一烧结的金属塞，该塞对于期望的材料具有预定的孔隙度和流量控制器(20)所面临的流量条件。

主权项

1.一种流体质量流量控制器，用于控制向一工序的流体流量，所述质量流量控制器包括：一本体，该本体中包括一流体流通道；一置于所述本体的流通道中的限流器；一用于感测所述限流器上游的流通道中的流体压力的第一压力传感器，及一用于感测所述限流器下游的流通道中的流体压力的第二压力传感器；一温度传感器，用于感测流过所述质量流量控制器的流体的温度；一位于所述流量控制器的上游的控制阀，用于控制通过所述流通道的流体流量；及一控制电路，该控制电路可操作地与所述控制阀、第一和第二压力传感器以及温度传感器连接，用于在由所述第一和第二压力传感器分别感测的压力之差所确定的跨限流器的压差、限流器下游的流通道中的流体压力，以及流过所述质量流量控制器的所述流体的温度的基础上，控制流过所述流量控制器的流体的质量流量。