| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Wärmeableitung in einem thermischen Massenstrom-Sensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10297601(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
| 申请号 |
DE20021097601 |
申请日期 |
2002.11.21 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
AMBROSINA, JESSE;SHAJII, ALI |
| 分类号 |
G01F1/00;G01F5/00;G01F1/684;G05D7/06 |
主分类号 |
G01F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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