真空绝热阀

摘要

本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S₅)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S₅)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S₄)形成。

主权项

1.一种真空绝热阀，由具有阀本体和执行器的阀、以及容纳该阀的真空绝热箱形成，其特征是，所述真空绝热箱由方形的下部真空箱壳和方形的上部真空箱壳形成，所述下部真空箱壳在侧面具有筒状的真空绝热配管接口，上面为敞口，所述上部真空箱壳从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳上，下面为敞口，所述下部真空箱壳的上端部的内壁及外壁向内侧呈凸缘状折弯而形成接合部，而且该下部真空箱壳的侧部的外壁在高度方向上的中间部位向外呈凸缘状折弯而形成接合部，此外，所述上部真空箱壳的下端部的内壁及外壁向外呈凸缘状折弯而形成接合部，而且所述上部真空箱壳的真空绝热侧壁位于所述下部真空箱壳的真空绝热侧壁的外侧而使二者组合在一起，所述上部真空箱壳的下端部的接合部和下部真空箱壳的外壁侧的接合部中间衬着绝热材料层呈气密状态对接，而且上部真空箱壳的顶部内壁和下部真空箱壳的上端部的接合部中间衬着绝热材料层呈气密状态对接。