具有高精度的高力压痕装置

摘要

本发明涉及一种包括力框架(13)和定位框架(14)的压痕装置(1)。压痕工具(5)挤压在工件(7)中，以形成模具。工件(7)由基部(6)支撑。致动器(2)安装在力框架(13)中。致动器(2)和压痕工具头(4)通过杆(3)连接起来。杆(3)使用柔性(旋转)接头(15)固定到所述压痕工具(4)和所述致动器(2)，以使所述力框架(13)和所述定位框架(14)与力物理上脱开。此外，力传感器(9)安装在压痕工具(4)与定位框架(14)之间。为了使定位框架保持空载，由所述力框架致动器(2)给予的平衡力应大约等于压痕力。力传感器(9)的信号由控制电子装置(10)处理。控制电子装置确定致动器(2)的力，使得在力传感器(9)处测量的力大约处于零水平。为了使致动器(2)、杆(3)和压痕工具(4)轴向对齐，致动器(2)跟随压痕工具头(5)的运动移动。

主权项

1.一种用于沿至少一个方向高精度地致动至少一个工具的装置，包括：-用于支撑至少一个工件(7)的基部(6)；-力框架(13)，其与所述工具(4)连接，用于沿至少一个方向传递平衡力；-具有用于工具(4)的精确定位的测量系统的定位装置；其特征在于，所述定位装置与所述力框架(13)至少部分地物理上脱开，从而避免由所述力框架中的力引起的偏差的影响。