| 发明名称 | 一种用于固晶机的晶圆推顶系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于固晶机的晶圆推顶系统，包括推顶针、推顶轴、基座、动力装置，推顶轴固定安装在基座上，推顶轴中空并且底部设孔，推顶针底部插在推顶轴底部孔中，推顶针顶部部分露在空中，动力装置连接基座。本晶圆推顶系统进一步包括吸附膜片装置和晶圆水平偏移装置。由于晶圆推顶系统能够将晶圆向上顶出，使晶圆与聚酯薄膜层脱离，使得晶圆容易被吸取，因此，大大提高了固晶机的工作效率和质量。 | ||
| 申请公布号 | CN201054345Y | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
| 申请号 | CN200720152474.3 | 申请日期 | 2007.06.04 |
| 申请人 | 大赢数控设备(深圳)有限公司 | 发明人 | 杨少辰;韩金龙;罗会才;刘义红 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 深圳市凯达知识产权事务所 | 代理人 | 刘大弯 |
| 主权项 | 1.一种用于固晶机的晶圆推顶系统，其特征在于：包括推顶针(101)、推顶轴(102)、基座(103)、动力装置，推顶轴(102)固定安装在基座(103)上，推顶轴(102)中空并且底部设孔，推顶针(101)底部插在推顶轴(102)底部孔中，推顶针(101)顶部部分露在空中，动力装置连接基座(103)。 | ||
| 地址 | 518103广东省深圳市宝安区福永镇富源一路华发工业园第一栋 | ||