发明名称 |
光伏型多量子阱红外探测器 |
摘要 |
本发明公开了一种光伏型多量子阱红外探测器,该探测器由SOI晶片,键合在SOI晶片上的光导型多量子阱红外探测器组成。所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层中产生固定电荷的晶片。所说的光导型多量子阱红外探测器为GaAs/AlGaAs、GaAs/InGaAs或Si/GeSi多量子阱红外探测器。本发明的优点在于:该探测器不仅具备了光导型多量子阱红外探测器的基本优越性能,同时也解决了光导探测器暗电流较大的缺陷,从而进一步提高了器件的性能。同时,器件的制备也比较简单、易于操作。 |
申请公布号 |
CN101170148A |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
申请号 |
CN200710171387.7 |
申请日期 |
2007.11.30 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
陆卫;王文娟;甄红楼;李天信;陈平平;张波;李宁;李志锋;陈效双 |
分类号 |
H01L31/111(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/111(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
1.一种光伏型多量子阱红外探测器,其特征在于:该探测器由SOI晶片(1),键合在SOI晶片的顶层Si(103)上的光导型多量子阱红外探测器(2)组成;所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层(102)中产生固定电荷的晶片。 |
地址 |
200083上海市玉田路500号 |