发明名称 光伏型多量子阱红外探测器
摘要 本发明公开了一种光伏型多量子阱红外探测器,该探测器由SOI晶片,键合在SOI晶片上的光导型多量子阱红外探测器组成。所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层中产生固定电荷的晶片。所说的光导型多量子阱红外探测器为GaAs/AlGaAs、GaAs/InGaAs或Si/GeSi多量子阱红外探测器。本发明的优点在于:该探测器不仅具备了光导型多量子阱红外探测器的基本优越性能,同时也解决了光导探测器暗电流较大的缺陷,从而进一步提高了器件的性能。同时,器件的制备也比较简单、易于操作。
申请公布号 CN101170148A 申请公布日期 2008.04.30
申请号 CN200710171387.7 申请日期 2007.11.30
申请人 中国科学院上海技术物理研究所 发明人 陆卫;王文娟;甄红楼;李天信;陈平平;张波;李宁;李志锋;陈效双
分类号 H01L31/111(2006.01) 主分类号 H01L31/111(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 郭英
主权项 1.一种光伏型多量子阱红外探测器,其特征在于:该探测器由SOI晶片(1),键合在SOI晶片的顶层Si(103)上的光导型多量子阱红外探测器(2)组成;所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层(102)中产生固定电荷的晶片。
地址 200083上海市玉田路500号