球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置

摘要

本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置，所述检测方法包括获取平行光，选出双点源，光束经平面反射返回，光束经球面反射返回，返回光束输出，球面反射镜误差检测的步骤，所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机，所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高，对振动、温度、气流敏感小，稳定性高，易于操作并能推广应用。

主权项

1.一种球面反射镜的双点源干涉检测方法，其特征在于包括如下步骤：(1)获取平行光：通过光源发射一束单色光，使其经过光束平行处理装置形成一束平行光；(2)选出双点源：将所获取的平行光通过光栅和凸透镜在其焦平面上形成一排极大的光点，用空间滤波器选出其中两个极大光点，即为双点源；(3)光束经平面反射返回：将小平面反射镜置于上述凸透镜的焦平面位置，使上述双点源中的一个光点发出的光束经小平面反射镜反射后按原光路返回；(4)光束经球面反射返回：将待测球面反射镜置于所述小平面反射镜之后，与其距离等于待测球面反射镜的曲率半径，使得上述双点源中的另一光点发出的光束经待测球面反射镜反射后按原光路返回；(5)返回光束输出：将透反平面镜置于上述凸透镜和空间滤波器之间，使得经过步骤(3)、步骤(4)返回的光束经过透反平面镜，在远处输出干涉条纹；(6)球面反射镜误差检测：用图像接收装置接收上述干涉条纹，分析干涉条纹的分布及其变形情况，得出待测球面反射镜的误差信息。