| 发明名称 | 用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统 | ||
| 摘要 | 提供了用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统(1”)。物镜系统(1”)包含至少一个具有非球面的玻璃部件(3”)。该至少一个玻璃部件(3”)由具有低软化温度并对紫外线和/或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。 | ||
| 申请公布号 | CN101171632A | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
| 申请号 | CN200680015853.6 | 申请日期 | 2006.04.28 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | J·H·M·内詹;H·范桑滕;B·H·W·亨德里克斯 |
| 分类号 | G11B7/135(2006.01);C03C4/00(2006.01) | 主分类号 | G11B7/135(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 李静岚;谭祐祥 |
| 主权项 | 1.一种用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备(10)的物镜系统(1，1’，1”)，该物镜系统(1，1’，1”)包含至少一个具有非球面的玻璃部件(3，3’，3”)，其中所述至少一个玻璃部件(3，3’，3”)由具有低软化温度并对紫外线和/或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||