| 发明名称 |
Verfahren und Anordnung zur Durchführung eines Ätz- oder Reinigungsschrittes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102006035596(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
| 申请号 |
DE200610035596 |
申请日期 |
2006.07.27 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
MARX, ECKHARD;HELLRIEGEL, RONALD |
| 分类号 |
H01L21/306;G01N21/71;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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