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发明名称 Einrichtung zur Detektion von übereinander mit einem bestimmten Abstand angeordneten Substraten
摘要
申请公布号 DE10250353(B4) 申请公布日期 2008.04.30
申请号 DE2002150353 申请日期 2002.10.25
申请人 BROOKS AUTOMATION (GERMANY) GMBH 发明人 GILCHRIST, ULYSSES;BARRISS, LOUISE S.;RAUE, HAGEN;LAHNE, BERNDT;HEINZE, MANFRED;KOENIG, JOACHIM;SCHULTZ, KLAUS
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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