扫描工件表面的方法

摘要

一种测量系统，具有安装在铰接式探头上的表面检测装置，所述铰接式探头又安装在座标定位设备上。通过沿至少一个轴线驱动所述座标定位装置和所述探头中的至少一个来相对于表面移动所述表面测量装置，从而扫描所述表面。所述表面检测装置测量其与所述表面的距离，并驱动所述探头绕至少一个轴线旋转所述表面检测装置，用于把所述表面检测装置与所述表面的相对位置实时控制在预定范围内。

主权项

1.一种测量系统，其中在探头上安装表面检测装置，所述探头安装在座标定位设备上；其中，可操作所述座标定位设备以产生所述探头和表面轮廓之间的相对运动，并且其中，所述探头包括一个或多个驱动装置用于产生所述表面检测装置绕一个或多个轴线的旋转运动；其中，通过沿至少一个轴线驱动所述座标定位设备和所述探头中的至少一个，相对于所述表面移动所述表面检测装置；其中，所述表面检测装置测量它与所述表面的距离；以及其中，驱动所述探头，绕至少一个轴线旋转所述表面检测装置，以把所述表面检测装置与所述表面的相对位置实时控制在预定范围之内。