微振荡元件

摘要

一种微振荡元件，包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极，以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。

主权项

1.一种微振荡元件，包括：振荡部件支撑框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极，其中该臂部件从该可移动操作部件延伸，该第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿在与该臂部件相交的方向上从该臂部件延伸；扭转接合部件，其将该框架与该振荡部件相互连接，并且限定该振荡部件作振荡操作的振荡轴；以及第二梳齿电极，其与该第一梳齿电极配合以使得该振荡部件振荡，该第二梳齿电极包括多个第二电极齿，每个第二电极齿在与该臂部件相交的方向上从该框架延伸，所述多个第二电极齿和所述多个第一电极齿置于不同的高度，所述多个第二电极齿和所述多个第一电极齿沿该臂部件的延伸方向彼此偏离。