一种原料供给装置

摘要

本实用新型提供一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其中，该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。所述的两条管路均分别设有调节钮，用于调节对应管路的原料流量。所述数字流量器连接一个显示屏，显示屏可以设置在原料供给装置外部，用于显示数字流量器测量的原料流量。本实用新型通过数字计量器可精确测量原料流量且显示在显示屏上。操作员可以精确获知化学品和去离子水的流量，精确调控流量，不仅能彻底清洗晶片表面，还能最大程度减少原料的用量，有效节约生产成本。

主权项

1.一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其特征在于：该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。