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发明名称 Technique for creating different mechanical stress in different channel regions by forming an etch stop layer having differently modified intrinsic stress
摘要
申请公布号 GB2442995(A) 申请公布日期 2008.04.23
申请号 GB20060024048 申请日期 2005.03.29
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 KAI FROHBERG;MATTHIAS SCHALLER;MASSUD AMINPUR
分类号 H01L21/8234;H01L21/8238 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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