一种带凸凹反射镜的垂直外腔面发射半导体激光器

摘要

本发明涉及垂直外腔面发射半导体激光器的结构设计，包括：泵浦光源1、凸凹反射镜2、反射介质膜3、增透膜4、窗口层5、光吸收层6、有源增益区7、布拉格反射镜8、焊料9、散热片10、热沉11、导热胶12、微通道散热片13、非线性晶体14。通过外凸凹反射镜的凸面会聚作用减小光散射，增大光反馈，进而降低器件的激射阈值，达到提高器件输出效率和输出功率的目的。与此同时采用微通道散热技术解决器件散热问题来提高输出功率。本发明采用凸凹反射镜为外腔镜，使输出光近似为平行光，发光区为均匀的圆形，从而获得圆对称光束质量，利于光束耦合。本发明可以应用于III-V族半导体材料体系，还可以应用于II-VI族半导体材料体系。

主权项

1.一种带凸凹反射镜的垂直外腔面发射半导体激光器，包括：泵浦光源(1)、窗口层(5)、光吸收层(6)、有源增益区(7)、布拉格反射镜(8)、焊料(9)、散热片(10)、热沉(11)、导热胶(12)，有源增益区(7)的两面分别与光吸收层(6)和布拉格反射镜(8)固定连接，焊料(9)将布拉格反射镜(8)和散热片(10)固定连接，焊料(9)将散热片(10)和热沉(11)固定连接，其特征在于还包括：凸凹反射镜(2)、反射介质膜(3)、增透膜(4)、微通道散热片(13)，凸凹反射镜(2)的凹面与反射介质膜(3)固定连接，窗口层(5)的两面分别与增透膜(4)和光吸收层(6)固定连接，导热胶(12)分别与热沉(11)和微通道散热片(13)固定连接。