| 发明名称 | 功能膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种功能膜的制造方法，其特征在于，包括：将含有熔点为900℃以上且使粒径为30nm～150nm时的熔点为255℃以上的金属和金属氧化物材料作为溶质的第1油墨配置于基板(P)上的工序、在已配置的第1油墨上配置含有金属有机盐作为溶质的第2油墨X2的工序。由此，本发明提供与烧成温度无关、即即使在将烧成温度设定为低温的情况下膜表面的平坦性和膜的致密性也良好且可以充分确保需要的膜特性的功能膜的制造方法。 | ||
| 申请公布号 | CN100383921C | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200510106871.2 | 申请日期 | 2005.09.27 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 傅田敦 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01);H01L21/336(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种功能膜的制造方法，其特征在于，包括：将含有主体的熔点为900℃以上且使粒径为30nm～150nm时的熔点为255℃以上的金属或金属氧化物材料作为溶质的第1油墨配置于基板上的工序、在已配置的第1油墨上配置含有金属有机盐作为溶质的第2油墨的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||