白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置

摘要

本实用新型涉及一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置，由白光光源、半反半透分光镜、CCD相机、干涉显微物镜和样品放置台等组成，分光镜将光源照明光束分为反射和透射两束光，CCD相机设置在其透射光轴方向上，干涉显微物镜由显微透镜、半反半透参考镜和分光镜组成，它们和样品放置台依次同轴设置在半反半透分光镜反射光轴方向上，CCD相机的信号输出端与计算机的信号输入端连接，计算机的输出工作端可驱动干涉显微物镜做上下移动。工作中，分光镜反射光束分别投射到样品和参考镜表面，二者反射的两束光再次通过半反半透分光镜后合成一束光，并在CCD相机感光面形成干涉条纹，根据白光干涉条纹明暗度变化信息，可以解析出被测物体表面的相对高度。

主权项

1.一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置，其特征在于具有一个由白光光源(4)、透镜(3)和半反半透分光镜(11)组成的照明光源系统、一个由CCD相机(1)和透镜(2)组成的光学成像系统和一个由干涉显微物镜(I)和样品放置台(9)组成的垂直扫描系统，半反半透分光镜(11)以45°倾角设置在照明光源系统的光轴方向上，将光源照明光束分为下行反射光和上行或平行透射光两束光，光学成像系统的透镜(2)和CCD相机(1)同轴依次设置在其透射光的光轴方向上，干涉显微物镜(I)包括显微透镜(5)、半反半透参考镜(6)和分光镜(7)，它们依次同轴设置在半反半透分光镜(11)反射光轴的下方，样品放置台(9)设置在干涉显微物镜的下方。