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经营范围
发明名称
Automatic fluorine concentration control system for excimer laser
摘要
申请公布号
EP1075061(B1)
申请公布日期
2008.04.23
申请号
EP20000116029
申请日期
2000.07.26
申请人
CYMER, INC.
发明人
PADMABANDU, GAMARALALAGE G.;DAS, PALASH P.;WATSON, TOM A.;ZAMBON, PAOLO
分类号
H01S3/134;H01S3/225;G03F7/20;H01S3/036
主分类号
H01S3/134
代理机构
代理人
主权项
地址
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