发明名称 |
SINGLE CRYSTAL, SINGLE CRYSTAL WAFER, EPITAXIAL WAFER AND METHOD OF GROWING SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1559813(A4) |
申请公布日期 |
2008.04.23 |
申请号 |
EP20030795313 |
申请日期 |
2003.09.08 |
申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
HOSHI, R.;SONOKAWA, S. |
分类号 |
C30B29/06;C30B15/00;C30B15/14;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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