| 发明名称 | 挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅 | ||
| 摘要 | 多晶硅的挡板晶圆(60)置放在支撑塔(20)的非生产沟槽中，用于热处理单晶硅晶圆。多晶硅较佳为随机定向多晶硅(ROPSi)，优选通过使用随机定向晶种(例如CVD成长的硅)而以Czochralski方法来成长。热炉管(10)的全硅热区可以包括硅支撑塔，其中该硅支撑塔设置在硅衬里(18)内且支撑这些多晶硅挡板晶圆，硅注射器在该衬里内提供处理气体。该随机定向多晶硅可用于其它需要粗糙构件的零件(例如在硅处理腔室中)并用于结构性构件。 | ||
| 申请公布号 | CN101167163A | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200680007000.8 | 申请日期 | 2006.02.17 |
| 申请人 | 统合材料股份有限公司 | 发明人 | 詹姆斯·E·包义森;里斯·雷诺斯;拉阿南·Y·柴海威;罗伯特·米顿;汤姆·L·卡德韦尔 |
| 分类号 | H01L21/30(2006.01);C30B15/06(2006.01);H01L21/46(2006.01) | 主分类号 | H01L21/30(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;陈红 |
| 主权项 | 1.一种用于填充多晶圆支撑固定件的非生产沟槽的挡板晶圆，至少包含一晶圆，其中该晶圆包含多晶硅且具有实质上等于硅生产晶圆的直径的直径。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||