镀膜用基片夹具、镀膜用转盘及镀膜机

摘要

本发明提供一种可用于镀膜设备中的基片夹具，其包括一个框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及多个连接所述框体与夹持件的弹性件。所述两夹持件的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。使用时，基片设置于夹持部间，夹持件在弹性件的弹性力作用下将基片紧紧夹持于夹持部间。由于夹具使用弹性力进行夹持，故可适用于不同尺寸规格的基片。本发明还提供一种采用所述基片夹具的镀膜用转盘及镀膜机。

主权项

1.一种基片夹具，用于镀膜设备中，其特征在于：所述基片夹具包括一个框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及多个连接所述框体与夹持件的弹性件；所述两夹持件的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。