| 发明名称 | 静电夹盘装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电夹盘装置，以简单的处理在短时间内复原为可吸附工件。本发明在与工件(W)平行的平面内将电极(1)分割成多个区域(1a)，在这些每个区域(1a)分别设置独立的电极图案(1b)，同时，在每个区域(1a)分别设置向各电极图案(1b)的供电部(1c)，切断任意的供电部(1c)，而部分地停止向配置于任意区域(1a)的电极图案(1b)的供电。从而，即使为多个区域(1a)中的一部分膜面被破坏的情况，也虽然该破坏的区域(1a)内的电极图案(1b)不作为静电夹盘选择性地起作用，但是其外的区域(1a)的电极图案(1b)仍作为静电夹盘起作用。 | ||
| 申请公布号 | CN101167174A | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200580049604.4 | 申请日期 | 2005.04.28 |
| 申请人 | 信越工程株式会社 | 发明人 | 大谷义和 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种静电夹盘装置，通过对与工件(W)相对并置以面状配置的电极(1)施加电压，而静电吸附工件(W)，其特征在于：在与工件(W)平行的平面内将上述电极(1)分割成多个区域(1a)，在这些每个区域(1a)分别设置独立的电极图案(1b)，同时在每个区域(1a)分别设置对各电极图案(1b)的供电部(1c)，切断任意的供电部(1c)，而部分地停止向配置于任意的区域(1a)的电极图案(1b)的供电。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||