| 发明名称 | 在激光标刻系统中检查晶片的系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于半导体晶片背面检查组件(40)的照明系统(60，62)。该照明系统(60，62)包括照明光源(60，62)，该照明光源经设置后以同高反射、定向反射的表面(58)成约45度至约75度的角度α向该高反射、定向反射的表面(58)提供照明。 | ||
| 申请公布号 | CN101166601A | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200680014667.0 | 申请日期 | 2006.03.31 |
| 申请人 | 杰斯集团公司 | 发明人 | 雷纳尔·施拉姆;乔纳森·厄尔曼 |
| 分类号 | B23K26/40(2006.01);B23K31/12(2006.01);G01N21/95(2006.01);G01N21/956(2006.01);G01N21/88(2006.01);H01L21/66(2006.01);B23K101/40(2006.01) | 主分类号 | B23K26/40(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 付建军 |
| 主权项 | 1.一种用于半导体晶片背面检查组件的照明系统，其特征在于：所述照明系统包括照明光源，所述照明光源经设置后以同高反射、定向反射的表面成约45度至约75度的角度α向所述高反射、定向反射的表面提供照明。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||