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发明名称
摘要
申请公布号	JP4079056(B2)	申请公布日期	2008.04.23
申请号	JP20030303610	申请日期	2003.08.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
地址

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