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发明名称
摘要
申请公布号 JP4080816(B2) 申请公布日期 2008.04.23
申请号 JP20020235529 申请日期 2002.08.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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