干涉仪角度灵敏度校准方法

摘要

本发明提供一种干涉仪角度灵敏度校准方法，其可以容易且高精度地校准所测定的倾斜角度限定在规定的角度范围内的倾斜角度测定用的干涉仪的角度灵敏度。在与被检面的倾斜角度对应的规定的被测定角度范围内，视为在被检面的每单位长度的干涉条纹的条数与倾斜角度之间比例关系成立，设定规定的角度灵敏度，并基于以呈被测定角度范围内的基准倾斜角度的方式设定的基准倾斜面(31)的测定结果，校准该设定的角度灵敏度算式的比例系数。

主权项

1.一种干涉仪的角度灵敏度校准方法，所述干涉仪拍摄承载有被检面的倾斜信息的干涉条纹图像，并基于该干涉条纹图像测定所述被检面的倾斜角度，所述干涉仪的角度灵敏度校准方法对所述干涉仪的角度灵敏度进行校准，其特征在于，依次进行以下步骤：角度灵敏度算式设定步骤，其在与所述被检面的倾斜角度对应的规定的被测定角度范围内，视为在所述被检面的每单位长度的干涉条纹的条数(p)和所述倾斜角度(θ)之间，使用了规定的比例系数(k)的比例关系成立，设定下式(1)所示的角度灵敏度算式；测定步骤，其用所述干涉仪测定以呈所述被测定角度范围内的基准倾斜角度(α)的方式设定的基准倾斜面，求出该基准倾斜面的每单位长度的条纹条数(p1)，并且基于该条纹条数(p1)和下式(1)计算所述基准倾斜角度(α)的测定临时值(α1)，从而得到下式(2)的关系；校准步骤，其基于所述条纹条数(p1)和所述基准倾斜角度(α)且通过下式(3)求出已校准的比例系数(k1)，将该已校准的比例系数(k1)和下式(1)的比例系数(k)置换，从而得到下式(4)所示的已校准的角度灵敏度算式。p＝k·θ ……(1)p1＝k·α1 ……(2)k1＝p1/α ……(3)p＝k1·θ ……(4)