| 主权项 |
1.一种侦测制程错误之方法,包括下列步骤: 建立一品质功能知识库,其用以记录至少一晶圆允 收测试参数以及至少一制程步骤间之关系; 侦测至少一错误晶圆允收测试参数; 根据上述制程步骤影响上述错误晶圆允收测试参 数之情形,决定至少一候选制程步骤; 对每一制程步骤决定至少一负关系指数,上述负关 系指数用以表示影响上述错误晶圆允收测试参数 之上述候选制程步骤,并未造成上述晶圆允收测试 参数错误之情形;以及 根据上述负关系指数,对每一候选制程步骤计算一 怀疑度之总量。 2.如申请专利范围第1项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述计算上述怀疑度总量之步骤中,包括 根据下列公式进行计算: ,其中MAX(bad_weighting)系为上述候选制程所影响之上 述错误晶圆允收测试参数中之关系最大値,DOS系为 上述怀疑度。 3.如后请专利范围第2项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述计算上述错误总量之步骤中,包括根 据下列公式进行计算: ,其中MAX(bad_weighting)系为上述候选制程所影响之上 述错误晶圆允收测试参数中之关系最大値,MAX(good_ weighting)系为上述候选制程所影响之上述成本晶圆 允收测试参数中之关系最大値。 4.如申请专利范围第1项所述之侦测制程错误之方 法,更包括将上述错误晶圆允收测试参数分为一或 多丛集,以区隔错误徵状况。 5.如申请专利范围第4项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述丛集系根据上述晶圆允收测试参数之 相异度,上述相异度系以下式计算得到: ,其中D(i,j)系指第i与第j个上述晶圆允收测试参数 间之上述相异度; K系为上述候选制程步骤之数量; WATi为第i个上述晶圆允收测试参数; PROCk系为第k个上述候选制程步骤; QFD(WATi,PROCk)系为由上述品质功能知识库所得到之 第i个上述晶圆允收测试参数与第j个上述候选制 程步骤间之关系値; WATj为第j个上述晶圆允收测试参数; QFD(WATj,PROCk)系为由上述品质功能知识库所得到之 第j个上述晶圆允收测试参数与第k个上述候选制 程步骤间之关系値。 6.如申请专利范围第5项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述分类系以K-Means分类方法为之。 7.如申请专利范围第1项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述决定上述负关系指数之步骤中,尚包 括决定至少一成功晶圆允收测试参数,其与上述候 选制程步骤具有一较高之关系値。 8.如申请专利范围第1项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述品质功能知识库系以一二维矩阵表示 之。 9.一种侦测制程错误之方法,包括下列步骤: 于一晶圆上执行一系列晶圆允收测试参数; 对每一错误晶圆允收测试参数; 辨识具有一正关系指数之制程步骤,上述正关系指 数系为个别制程步骤与错误晶圆允收测试参数之 间之关系; 对每一具有一正关系指数之制程步骤,计算一负关 系指数,上述负关系指数系为个别制程步骤与非错 误晶圆允收测试参数之间之关系;以及 根据上述负关系指数及正关系指数,决定一总错误 程度;以及 根据上述总错误程度,辨识一或多制程步骤,其系 由错误晶圆允收测试参数所影响。 10.如申请专利范围第9项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述计算上述怀疑度总量之步骤中,包括 根据下列公式进行计算: ,其中MAX(bad_weighting)系为上述候选制程所影响之上 述错误晶圆允收测试参数中之关系最大値,DOS系为 上述怀疑度。 11.如申请专利范围第10项所述之侦测制程错误之 方法,其中上述计算上述错误总量之步骤中,包括 根据下列公式进行计算: ,其中MAX(bad_weighting)系为上述候选制程所影响之上 述错误晶圆允收测试参数中之关系最大値,MAX(good_ weighting)系为上述候选制程所影响之上述成本晶圆 允收测试参数中之关系最大値。 12.如申请专利范围第9项所述之侦测制程错误之方 法,更包括将上述错误晶圆允收测试参数分为一或 多丛集,以区隔错误徵状况。 13.如申请专利范围第12项所述之侦测制程错误之 方法,其中上述丛集系根据上述晶圆允收测试参数 之相异度,上述相异度系以下式计算得到: ,其中D(i,j)系指第i与第j个上述晶圆允收测试参数 间之上述相异度; K系为上述候选制程步骤之数量; WATi为第i个上述晶圆允收测试参数; PROCk系为第k个上述候选制程步骤; QFD(WATi,PROCk)系为由上述品质功能知识库所得到之 第i个上述晶圆允收测试参数与第j个上述候选制 程步骤间之关系値; WATj为第j个上述晶圆允收测试参数; QFD(WATj,PROCk)系为由上述品质功能知识库所得到之 第j个上述晶圆允收测试参数与第k个上述候选制 程步骤间之关系値。 14.如申请专利范围第12项所述之侦测制程错误之 方法,其中上述分类系以K-Means分类方法为之。 15.如申请专利范围第9项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述决定上述负关系指数之步骤中,尚包 括决定至少一成功晶圆允收测试参数,其与上述候 选制程步骤具有一较高之关系値。 16.如申请专利范围第9项所述之侦测制程错误之方 法,其中上述品质功能知识库系以一二维矩阵表示 之。 17.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式用以载入至一电脑系统中并且使得上述电脑 系统执行如申请专利范围第1至8项中任一者所述 之侦测制程错误之方法。 18.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式用以载入至一电脑系统中并且使得上述电脑 系统执行如申请专利范围第9至16项中任一者所述 之侦测制程错误之方法。 图式简单说明: 第1图系显示本发明所揭示之制程侦错方法之执行 流程图。 第2图系显示本发明所揭示之制程侦错方法之另一 执行流程图。 第3a图、第3b图系显示本发明所揭示之系统之功能 方块图。 第4图系显示本发明所揭示之方法之晶圆允收测试 资料及制程对照表之示意图。 第5图系显示本发明所揭示之方法之分类丛集之示 意图。 第6图系显示本发明所揭示之方法之分析丛集之示 意图。 |
