| 主权项 |
1.一种载盘之改良结构,其中包括: 一上盖,具有一内凹区与一螺旋状凸肋组,该螺旋 状凸肋组设置于该内凹区中; 一下盖,具有一顶面与一侧面,该顶面系连接于该 螺旋状凸肋组之复数个凸肋顶部,而该侧面系连接 于于该内凹区之一侧壁; 一冷却流道,设置于该内凹区、该螺旋状凸肋组、 与该顶面所围成之封闭空间中;以及 复数个流道出入口,系连接于该冷却流道,而其中 一冷却流体系经由该等流道出入口进出该冷却流 道,以形成一连续冷却流。 2.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该下盖系铝合金或不锈钢所制成。 3.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该上盖系铝合金或不锈钢所制成。 4.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该顶面系热连接于该等凸肋顶部。 5.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该侧面具有一密封层,而该密封层系设置于该侧面 与该内凹区之间。 6.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该冷却流体为去离子水或其他具冷却效果之流体 。 7.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该等流道出入口系连接于该下盖。 8.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该等流道之结构,使冷却流体在载盘内交替流动。 9.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其中 该载盘上承载一晶圆,而该冷却流体系用冷却该晶 圆。 10.如申请专利范围第1项所述之载盘改良结构,其 中该螺旋状凸肋组具有螺旋状之几何外形。 图式简单说明: 第1图系习知载盘示意图; 第2A图系载盘之改良结构之剖面图; 第2B图系上盖示意图。 |
