| 主权项 |
1.一种电浆反应用气体,其特征为: 含有以下式(1): R1-C=C-R2 (1) (式中,R1系氟或碳数为1-3之全氟烷基或碳数为2-3之 全氟烯基,R2系碳数为1-4之全氟烷基、碳数为2-4之 全氟烯基或碳数为2-4之全氟炔基,惟R1及R2之碳数 合计为3或4,R1及R2可相同或不同) 所表示之化合物,其于电浆反应用气体含有之残余 微量气体成分中氮气及氧气的合计量,相对于电浆 反应用气体之总量计为200容量ppm以下。 2.如申请专利范围第1项之电浆反应用气体,其中式 (1)中之R1及R2系独立地选自碳数为1-3之全氟烷基。 3.如申请专利范围第1项之电浆反应用气体,其中式 (1)表示之化合物为全氟-2-戊炔。 4.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其中式(1)表示之化合物的含有量,相对于电 浆反应用气体之总量为90容量%以上。 5.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其中式(1)表示之化合物的含有量,相对于电 浆反应用气体之总量为99.9容量%以上。 6.如申请专利范围第5项之电浆反应用气体,其中电 浆反应用气体含有之水分量,相对于电浆反应用气 体之总量为30重量ppm以下。 7.如申请专利范围第1项之电浆反应用气体,其于电 浆反应用气体中所含有之水分量,相对于电浆反应 用气体之总量计为30重量ppm以下。 8.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其包含70重量%以上之以式(1)表示之化合物、 以及至少一种选自于碳数为2-6之全氟烯烃、碳数 为1-6之全氟烷、及碳数为3-6之全氟环烷之化合物 30重量%。 9.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其中含有以式(1)表示之化合物,以及相对于 该化合物之量至少一种50莫耳%以下碳数为1-6之氢 氟碳。 10.一种电浆反应用气体之制造方法,其特征为: 从以下式(2)表示之化合物、及以下式(3)表示之化 合物 R1-CHF-CHF-R2 (2) R1-CX=CY-R2 (3) (式中,R1系氟或碳数为1-3之全氟烷基或碳数为2-3之 全氟烯基,R2系碳数为1-4之全氟烷基、碳数为2-4之 全氟烯基或碳数为2-4之全氟炔基,惟R1及R2之碳数 合计为3或4,R1及R2可相同或不同,式(3)中之X及Y,一 方为氢、另一方则为氟) 当中选取至少一种化合物,使其和硷性化合物接触 ,制造含有以下式(1): R1-C=C-R2 (1) (式中,R1及R2系和式(2)及(3)中之R1及R2相同)表示之 化合物的电浆反应用气体。 11.如申请专利范围第10项之制造方法,其中在反应 溶剂存在或不存在之状态下,使从式(2)表示之化合 物、及式(3)表示之化合物当中选取至少一种之化 合物接触硷性化合物所得之反应液,实施固液分离 ,其次,对所得之由液体部构成的基本反应产物进 行蒸馏,得到含有纯度98容量%以上之式(1)表示之化 合物的电浆反应用气体。 12.如申请专利范围第10或11项之制造方法,其中制 造之电浆反应用气体之式(1)中的R1及R2系独立选自 碳数为1-3之全氟烷基。 13.如申请专利范围第11项之制造方法,其中制造之 电浆反应用气体系含有式(1)表示之化合物为纯度 98容量%以上之链状全氟-2-戊炔。 14.如申请专利范围第11项之制造方法,其中在周期 表第18族之惰性气体中精馏含有式(1)表示之化合 物的基本反应产物。 15.如申请专利范围第11项之制造方法,其中系以由 实施含有式(1)所示之化合物的基本反应产物之纯 度99.9容量%以上精馏的第1步骤、及在第1步骤后再 除去残留之微量杂质的第2步骤所构成之精制法, 进行精制。 16.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其系用于电气或电子零件之制造。 17.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其系用于氟碳化合物薄膜之形成。 18.如申请专利范围第1-3项中任一项之电浆反应用 气体,其系用于去灰方法做为去灰气体。 |
