| 主权项 |
1.一种自动化晶圆派工方法,其适用于一半导体制 造流程,包括下列步骤: 提供一机台资料表与一晶舟资料表; 根据上述机台资料表或上述晶舟资料表设定一派 工基准; 利用一智慧型演算法并根据上述派工基准,对上述 机台资料表或上述晶舟资料表中包含的资料进行 计算处理而取得一索引値;以及 根据上述索引値对上述机台资料表或上述晶舟资 料表中包含的资料进行排序。 2.如申请专利范围第1项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述机台资料表至少包括一机台编号、 一制程名称以及一机台优先权値栏位。 3.如申请专利范围第2项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述晶舟资料表至少包括一晶舟编号、 一批量编号、一制程名称以及一晶舟优先权値栏 位。 4.如申请专利范围第3项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述派工基准系根据上述晶舟编号栏位 、批量编号栏位、制程名称栏位、晶舟优先权値 栏位、机台编号栏位、制程名称栏位以及机台优 先权値栏位之其一或至少任二者组合而予以设定 。 5.如申请专利范围第1项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述智慧型演算法为一类神经网路控制 方法。 6.如申请专利范围第1项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述智慧型演算法为一资料探勘方法、 一模糊演算法或一类神经模糊演算法。 7.一种自动化晶圆派工方法,其适用于一半导体制 造流程,包括下列步骤: 提供一机台资料表与一晶舟资料表; 根据上述晶舟资料表与上述机台资料表分别设定 一第一派工基准与一第二派工基准; 利用一智慧型演算法并根据上述第一与第二派工 基准,对上述晶舟资料表与上述机台资料表中包含 的资料进行计算处理而取得一第一索引値与一第 二索引値;以及 根据上述第一与第二索引値对上述晶舟资料表与 上述机台资料表中包含的资料进行排序而取得对 应之派工优先顺序。 8.如申请专利范围第7项所述的自动化晶圆派工方 法,其更包括下列步骤: 利用上述智慧型演算法并根据上述第一派工基准, 对上述晶舟资料表中包含的资料进行计算处理而 取得上述第一索引値; 根据上述第一索引値对上述晶舟资料表中包含的 资料进行排序而取得一第一排序结果; 根据上述第一排序结果与上述机台资料表设定上 述第二派工基准; 利用上述智慧型演算法并根据上述第二派工基准, 对上述机台资料表中包含的资料进行计算处理而 取得上述第二索引値; 根据上述第二索引値对上述晶舟资料表中包含的 资料进行排序而取得一第二排序结果;以及 根据上述第一与第二排序结果取得对应上述机台 资料表或上述晶舟资料表之上述派工优先顺序。 9.如申请专利范围第8项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述机台资料表至少包括一机台编号、 一制程名称以及一机台优先权値栏位。 10.如申请专利范围第9项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述晶舟资料表至少包括一晶舟编号、 一批量编号、一制程名称以及一晶舟优先权値栏 位。 11.如申请专利范围第10项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述第一或第二派工基准系根据上述 晶舟编号栏位、批量编号栏位、制程名称栏位、 晶舟优先权値栏位、机台编号栏位、制程名称栏 位以及机台优先权値栏位之其一或至少任二者组 合而予以设定。 12.如申请专利范围第8项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述智慧型演算法为一类神经网路控制 方法。 13.如申请专利范围第8项所述的自动化晶圆派工方 法,其中,上述智慧型演算法为一资料探勘方法、 一模糊演算法或一类神经模糊演算法。 14.一种自动化晶圆派工方法,其适用于一半导体制 造流程,包括下列步骤: 提供一机台资料表与一晶舟资料表; 根据上述晶舟资料表设定一第一派工基准; 利用一智慧型演算法并根据上述第一派工基准,对 上述晶舟资料表中包含的资料进行排序而取得一 第一排序结果; 根据上述第一排序结果设定一第二派工基准; 利用上述智慧型演算法并根据上述第二派工基准, 对上述机台资料表中包含的资料进行排序而取得 一第二排序结果;以及 根据上述第一与第二排序结果取得对应上述机台 资料表或上述晶舟资料表之派工优先顺序。 15.如申请专利范围第14项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述机台资料表至少包括一机台编号 、一制程名称以及一机台优先权値栏位。 16.如申请专利范围第15项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述晶舟资料表至少包括一晶舟编号 、一批量编号、一制程名称以及一晶舟优先权値 栏位。 17.如申请专利范围第16项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述第一或第二派工基准系根据上述 晶舟编号栏位、批量编号栏位、制程名称栏位、 晶舟优先权値栏位、机台编号栏位、制程名称栏 位以及机台优先权値栏位之其一或至少任二者组 合而予以设定。 18.如申请专利范围第14项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述智慧型演算法为一类神经网路控 制方法。 19.如申请专利范围第14项所述的自动化晶圆派工 方法,其中,上述智慧型演算法为一资料探勘方法 、一模糊演算法或一类神经模糊演算法。 20.一种自动化晶圆派工系统,其适用于一半导体制 造流程,包括: 一资料库,其又包括一机台资料表与一晶舟资料表 ;以及 一资料处理模组,耦接于上述资料库,用以根据上 述机台资料表或上述晶舟资料表设定一派工基准, 利用一智慧型演算法并根据上述派工基准对上述 机台资料表或上述晶舟资料表中包含的资料进行 计算处理而取得一索引値,并且根据上述索引値对 上述机台资料表或上述晶舟资料表中包含的资料 进行排序。 21.如申请专利范围第20项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述机台资料表至少包括一机台编号 、一制程名称以及一机台优先权値栏位。 22.如申请专利范围第21项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述晶舟资料表至少包括一晶舟编号 、一批量编号、一制程名称以及一晶舟优先权値 栏位。 23.如申请专利范围第22项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述派工基准系根据上述晶舟编号栏 位、批量编号栏位、制程名称栏位、晶舟优先权 値栏位、机台编号栏位、制程名称栏位以及机台 优先权値栏位之其一或至少任二者组合而予以设 定。 24.如申请专利范围第20项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述智慧型演算法为一类神经网路控 制方法。 25.如申请专利范围第20项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述智慧型演算法为一资料探勘方法 、一模糊演算法或一类神经模糊演算法。 26.一种自动化晶圆派工系统,其适用于一半导体制 造流程,包括: 一资料库,其又包括一机台资料表与一晶舟资料表 ;以及 一资料处理模组,耦接于上述资料库,用以根据上 述晶舟资料表与上述机台资料表分别设定一第一 派工基准与一第二派工基准,利用一智慧型演算法 并根据上述第一与第二派工基准对上述晶舟资料 表与上述机台资料表中包含的资料进行计算处理 而取得一第一索引値与一第二索引値,并且根据上 述第一与第二索引値对上述晶舟资料表与上述机 台资料表中包含的资料进行排序而取得对应之派 工优先顺序。 27.如申请专利范围第26项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述资料处理模组利用一智慧型演算 法并根据上述第一派工基准,利用上述智慧型演算 法并对上述晶舟资料表中包含的资料进行计算处 理而取得上述第一索引値,根据上述第一索引値对 上述晶舟资料表中包含的资料进行排序而取得一 第一排序结果,根据上述第一排序结果与上述机台 资料表设定上述第二派工基准,利用上述智慧型演 算法并根据上述第二派工基准对上述机台资料表 中包含的资料进行计算处理而取得上述第二索引 値,根据上述第二索引値对上述晶舟资料表中包含 的资料进行排序而取得一第二排序结果,并且根据 上述第一与第二排序结果取得对应上述机台资料 表或上述晶舟资料表之上述派工优先顺序。 28.如申请专利范围第27项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述机台资料表至少包括一机台编号 、一制程名称以及一机台优先权値栏位。 29.如申请专利范围第28项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述晶舟资料表至少包括一晶舟编号 、一批量编号、一制程名称以及一晶舟优先权値 栏位。 30.如申请专利范围第29项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述第一或第二派工基准系根据上述 晶舟编号栏位、批量编号栏位、制程名称栏位、 晶舟优先权値栏位、机台编号栏位、制程名称栏 位以及机台优先权値栏位之其一或至少任二者组 合而予以设定。 31.如申请专利范围第27项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述智慧型演算法为一类神经网路控 制方法。 32.如申请专利范围第27项所述的自动化晶圆派工 系统,其中,上述智慧型演算法为一资料探勘方法 、一模糊演算法或一类神经模糊演算法。 图式简单说明: 第1图系显示传统半导体制造系统的架构示意图。 第2图系显示传统资料控制系统的架构示意图。 第3图系显示类神经网路之资料控制系统的架构示 意图。 第4图系显示本发明实施例之自动化晶圆派工系统 的架构示意图。 第5图系显示本发明实施例之机台资料表。 第6图系显示本发明实施例之晶舟资料表。 第7图系显示本发明实施例之根据优先权値对晶舟 资料进排序的示意图。 第8图系显示本发明实施例之根据制程对机台资料 进排序的示意图。 第9图系显示本发明实施例之根据优先权値与制程 所得之晶舟派工优先顺序的示意图。 第10图系显示本发明实施例之晶舟与目标机台之 距离对照表。 第11图系显示本发明实施例之加入距离因素所得 之晶舟资料表。 第12图系显示本发明实施例之根据距离所得之晶 舟派工优先顺序的示意图。 第13图系显示本发明实施例之根据距离运算所得 之索引値。 第14图系显示本发明实施例之根据索引値所得之 晶舟派工优先顺序的示意图。 第15图系显示本发明实施例之自动化晶圆派工方 法的步骤流程图。 第16图系显示本发明另一实施例之自动化晶圆派 工方法的步骤流程图。 |
